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horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調(diào)節(jié)閥

  • 產(chǎn)品型號:UR-Z712M-B
  • 更新日期:2025-04-01

簡要描述:UR-Z712M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調(diào)節(jié)閥中的暢銷款,
控制該壓力控制器前端的壓力。

控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar, 數(shù)字通訊;
主要功能消除后端壓力波動對前端腔體壓力的影響(入口控制型)。

產(chǎn)品詳情

UR-Z712M-B horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調(diào)節(jié)閥UR-Z712

控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar,數(shù)字通訊


暢銷型號:UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。


UR-Z712M-B是UR-Z700中的一款,控制該壓力控制器前端的壓力。

UR-Z700系列是高性能自動壓力控制閥配備電子調(diào)節(jié)閥,帶有高精度壓力傳感器和高分辨率、快速響應(yīng)的壓電閥。根據(jù)接收到的外部控制信號控制壓力。

UR-Z712M、UR-Z722M、UR-Z732M、UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、支持模擬輸出和RS485通訊

UR-Z714M、UR-Z724M、UR-Z734M、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B支持DeviceNet™通訊模式。

horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調(diào)節(jié)閥UR-Z712M-B產(chǎn)品性能:

·分兩種應(yīng)用:入口控制型(-M-B型)和出口控制型

·消除大流量氣路切換引起的串?dāng)_影響(出口控制型)

·快速響應(yīng):0.5秒內(nèi)

·靈活的設(shè)計:可以安裝在任何位置,適用于各種氣體供應(yīng)系統(tǒng)

·進氣壓力多種選擇:表壓、絕對壓力

·符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)(UR-Z704系列)

·超潔凈:全金屬結(jié)構(gòu)

參數(shù)表:

產(chǎn)品背面圖

產(chǎn)品安裝孔圖

 

horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調(diào)節(jié)閥

 

周邊產(chǎn)品:

horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調(diào)節(jié)閥

Horiba品牌介紹:

HORIBA是全球著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,主要提供氣體質(zhì)量流量控制器、液體質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD、MOCVD、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用。

 

壓力控制器暢銷型號

UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。


與壓力控制器 配套的有 質(zhì)量流量計,暢銷型號:

進口高性能數(shù)字型號: SEC-Z512KX、SEC-Z512MGXSEC-Z522MGXN、SEC-Z532MGX、SEC-Z514KX、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGXN、SEC-Z534MGX、SEC-Z517MGX

SEC-Z527MGXN.

進口低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGMSEC-N122MGM、SEC-N124MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGMSEC-N172R、SEC-N176R.

 

模擬型質(zhì)量流量控制器:SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V,SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541

液體質(zhì)量流量控制器:LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO

液體質(zhì)量流量計LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M

 

 

 

 
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