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horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調節(jié)閥UR-Z714

  • 產品型號:UR-Z714M-B
  • 更新日期:2025-03-02

簡要描述:UR-Z714M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調節(jié)閥UR-Z714
中的暢銷款,控制該壓力控制器前端的壓力。
控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar
Devicenet數(shù)字通訊
消除后端壓力波動對前端腔體壓力的影響(入口控制型)

產品詳情

UR-Z714M-B horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調節(jié)閥UR-Z714

控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar,數(shù)字通訊


暢銷型號:UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。


UR-Z714M-B是UR-Z700中的一款,控制該壓力控制器前端的壓力。

UR-Z700系列是高性能自動壓力控制閥配備電子調節(jié)閥,帶有高精度壓力傳感器和高分辨率、快速響應的壓電閥。根據(jù)接收到的外部控制信號控制壓力。


UR-Z712M、UR-Z722M、UR-Z732M、UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、支持模擬輸出和RS485通訊

UR-Z714M、UR-Z724M、UR-Z734M、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B支持DeviceNet™通訊模式。


horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調節(jié)閥UR-Z714

產品性能:

·分兩種應用:入口控制型(-M-B型)和出口控制型

·消除大流量氣路切換引起的串擾影響(出口控制型)

·快速響應:0.5秒內

·靈活的設計:可以安裝在任何位置,適用于各種氣體供應系統(tǒng)

·進氣壓力多種選擇:表壓、絕對壓力

·符合RoHS標準(UR-Z704系列)

·超潔凈:全金屬結構

參數(shù)表:

horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調節(jié)閥UR-Z714

產品背面圖 horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調節(jié)閥UR-Z714

horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調節(jié)閥UR-Z714

產品安裝孔圖

周邊產品:horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調節(jié)閥UR-Z714

horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調節(jié)閥UR-Z714

Horiba品牌介紹:

HORIBA是全球著名的半導體設備供應商,主要提供氣體質量流量控制器、液體質量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導體設備PECVD、MOCVD、Etch等關鍵工藝有非常廣泛的應用。

暢銷型號:

數(shù)字型質量流量控制器:SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGM、SEC-Z532MG、SEC-Z542MG、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z544MG、SEC-Z712MGX、SEC-Z722MGM、SEC-Z732MG、SEC-Z714MGX、SEC-Z724MGM、SEC-Z734MG

低成本數(shù)字型質量流量控制器:SEC-N112MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N114MGM、SEC-N124MGM、SEC-N134MGM、SEC-N116MGM、SEC-N126MGM、SEC-N117MGM、SEC-N127MGM

模擬型質量流量控制器:SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V,SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541

液體質量流量控制器:LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO

液體質量流量計LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M


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